反應腔內部又有多種機械件，按不同材料及作用可分為金屬工藝件、金屬結構件及非金屬機械件：●金屬工藝件：在設備中與晶圓直接接觸或直接參與晶圓反應。以勻氣盤為例，在薄膜沉積及刻蝕過程中，特種工藝氣體通過勻氣盤上的小孔后均勻沉積在晶圓表面，以確保膜層的均勻性，其加工與表面處理為技術難點。金屬工藝件一般需要經(jīng)過高精密機械制造和復雜的表面處理特種工藝過程，具備高精密、高潔凈、強耐腐蝕、耐擊穿電壓等特點，工藝制程復雜?！窠饘俳Y構件：結構件一般起連接、支撐和冷卻等作用，對平面度和平行度有較高的要求，部分結構零部件同樣需要具備高潔凈、強耐腐蝕能力和耐擊穿電壓等性能。產(chǎn)品包括托盤、鑄鋼平臺、流量計底座、冷卻板等，不同產(chǎn)品差異較大，難點包括不銹鋼的高精密加工、超高光潔度制造、表面處理等技術。嚴格質量控制體系，每一環(huán)節(jié)精心檢驗，確保產(chǎn)品可靠。南京鋁合金真空腔體廠家供應

真空是指低于大氣壓力的氣體的給定空間，真空是相對于大氣壓來說的，并非空間沒有物質存在。真空是物理學里面的一個概念，反映的是空無一物的狀況，即真空并不是無物而是有實物粒子和虛粒子轉化的，但整體對外是不顯示物理特點的宏觀整體，真空就像是一個能量海，不斷振動并且充滿著巨大能量，真空的特點確實是需要用空間來描繪，是為了便利研究才引入的參量，并不是說真的性質取決于空間。真空腔體是建立在低于大氣壓力的環(huán)境下，以及在此環(huán)境中進行工藝制作、科學試驗和物理丈量等所需要的技能。用現(xiàn)代抽氣方法取得的很低壓力，每立方厘米的空間里仍然會有數(shù)百個分子存在。氣體淡薄程度是對真空的一種客觀量度直接的物理量度是單位體積中的氣體分子數(shù)，氣體分子密度越小，氣體壓力越低，真空就越高。真空常用的帕斯卡或托爾做為壓力的單位。安徽真空烘箱腔體生產(chǎn)廠家專業(yè)團隊技術支持，快速響應客戶問題，服務無憂。

鋁合金真空腔體的表面處理介紹：鋁材長期暴露在空氣中，與其它元素發(fā)生化學反應后，變成黑色。鋁的腐獨電位較負，對鋁合金型材表面處理可以提高材料防腐性、裝飾性和功能性。表面處理分類?鉻化：適用于鋁及鋁合金、鎂及鎂合金產(chǎn)品。使產(chǎn)品表面形成一層厚度在0.5-4um的化學轉化膜，其膜吸附性好，主要作為涂裝底層。陽極氧化：使產(chǎn)品表面形成一層硬度達200-300HV的致密氧化層，其耐磨性極好。電鍍：有鍍鎳、鍍銀、鍍金、鍍鋅、鍍銅、鍍鉻等各類。涂裝：叫電涂裝，分為浸涂、噴涂、淋涂、剛涂等，以浸涂和噴涂為主，采用電化法將有機樹脂的粒沉積在工件的表面上，形成透明或各色的有機涂層，其蝕好，不易變色，結臺力好。化學鍍：是在無電流通過時借還原劑在同一溶液中發(fā)生的復化還原作用，從而使金屬離子還原沉和在零件表面上的一種方法電泳處理：采用電化學方法將有機樹脂的膠體粒子沉積在零件上，形成透明或各種顏色的有機涂層。建筑鋁合金型材，要求其具有耐腐蝕、耐候、磨損、外觀裝飾好、使用壽命長等特點，必須進行后續(xù)的表面處理使其達到所需要求，對型材表面起到保護層和裝飾層的作用。

真空腔體檢修過程中的要求：真空腔體工作時間久了，總會出現(xiàn)點問題，因此它在操作過程中需要注意的問題有很多。同時，還需要定期對其進行檢修，檢修過程中應滿足以下要求：一、要定期檢查下攬拌軸的擺動里，如果發(fā)現(xiàn)擺動里較大，應及時拆開按照結構圖拆換軸承及軸套。它所采用復合軸套或石墨軸套設計壽命為1—2年。為保障設備正常運轉，廠家建議每年拆換1次。二、拆卸以前應排盡真空腔體內的反應物料，并用對人無害的氣波介質清洗干凈。三、高溫高轉速磁力攬拌器上部留有注油孔，是在停車時為軸承注入油脂設置的。只有待設備內卸去壓力后才能使用，每次加入30—50CC。四、檢修真空腔體時，則不需打開釜，只要松開與釜蓋聯(lián)接的螺母。拆卸時應盡里避免鐵及磁性材料等雜質進入內外磁鋼的間隙。保障內外磷鋼與密封罩的同心度。安裝時將螺栓均勻對稱地上緊螺栓，且分2—3次擴緊，以免螺栓上偏，損壞密封墊片影響密封效果。選擇暢橋真空不銹鋼腔體，就是選擇了高質量與可靠性的完美結合。

真空腔體的使用方法介紹：1、將反應物倒入襯套內，空腔體并保障加料系數(shù)小于0.8。2、保障釜體下墊片位置正確（凸起面向下），然后放入襯套和上墊片，先擰緊釜蓋混合設備，然后用螺桿把釜蓋旋扭擰緊為止。3、將設備置于加熱器內，按照規(guī)定的升溫速率升溫至所需反應溫度。（小于規(guī)定的使用溫度）。4、當確認內部溫度低于反應物系種溶劑沸點后方能打開釜蓋進行后續(xù)操作。真空腔體待反應結束將其降溫時，也要嚴格按照規(guī)定的降溫速率操作，以利于設備的使用壽命。5、確認內部溫度低于反應物系種溶劑沸點后，先用螺桿把釜蓋旋扭松開，然后將釜蓋打開。6、真空腔體每次使用后要及時將其清洗干凈，以免銹蝕。釜體、釜蓋線密封處要格外注意清洗干凈，避免將其碰傷損壞。暢橋真空腔體設計人性化，操作簡便，提升用戶體驗。廣州半導體真空腔體設計

暢橋真空腔體，經(jīng)過嚴格測試，性能穩(wěn)定，值得信賴。南京鋁合金真空腔體廠家供應

腔體按使用功能可分為過渡腔、傳輸腔和反應腔：過渡腔：是設備中晶圓真空環(huán)境入口，晶圓從外部運輸至設備入口，經(jīng)過前端模塊（EFEM）后進入過渡腔，方從大氣環(huán)境轉換為真空環(huán)境，后續(xù)再進入真空環(huán)境的傳輸腔、反應腔進行工藝反應。過渡腔以鋁合金為主，技術相對簡單。傳輸腔：是晶圓在過渡腔和反應腔之間進行轉移的中間平臺。傳輸腔材料主要是不銹鋼，腔體需要保證密封性和真空度，同時由于傳輸腔需要與不同工藝的反應腔連接，也需要采用不同的表面處理工藝來保證潔凈度和耐腐蝕性。傳輸腔主要由腔體、的真空機械手、傳輸腔與反應腔連接處的門閥，以及各種真空密封件組成。反應腔：是晶圓加工和生產(chǎn)的工作空間，由于多種工藝氣體會流入反應腔內發(fā)生化學反應，其對潔凈度和耐腐蝕性要求較高，尤其是先進制程對于潔凈度要求更高。反應腔中包括內襯、勻氣盤等零部件，對性能要求更為嚴苛。南京鋁合金真空腔體廠家供應