本實用新型屬于廢液處理領域，尤其涉及一種酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)。背景技術：酸性蝕刻液是用于印制電路板線路制作和多層板內(nèi)層制作的蝕刻液，隨著電路板行業(yè)的迅速發(fā)展，產(chǎn)生的廢液量越來越大，發(fā)掘的污染物種類也越來越多，對環(huán)境造成巨大的危害，此類問題也成為社會的重要課題。為了減少甚至杜絕此類污染的發(fā)生，我們需要對酸性蝕刻液進行回收循環(huán)利用。目前對于酸性蝕刻廢液的再生利用大多采用化學或電化學的方法，但傳統(tǒng)的方法廢液中總銅的含量不斷增大，比重增加，必須排掉一部分廢液或者補加子液和水來控制參數(shù)，這樣污染大，影響環(huán)境，而且還會造成銅和酸的浪費。技術實現(xiàn)要素：本實用新型所要解決的技術問題為如何通過簡單、低成本的技術實現(xiàn)種酸性蝕刻液電解后廢液的再生利用。為解決上述技術問題，本實用新型是這樣實現(xiàn)的，一種酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)，包括：電解槽，具有一出液口和出氣口，且內(nèi)置有酸性蝕刻液，用于對所述酸性蝕刻液進行電解提銅，產(chǎn)生氯氣，得到電解后液；再生液調配缸，具有進液口和循環(huán)出液口，所述進液口通過管道與所述電解槽的出液口連接以接收電解后液；射流器，其進氣口通過導氣管與所述電解槽的出氣口連接以接收所述氯氣。BOE蝕刻液公司的聯(lián)系方式。江西哪些新型BOE蝕刻液電話

    本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑，來改善磷酸的浸潤性和表面張力，使之均勻蝕刻氮化硅。背景技術：氮化硅是一種具有很高的化學穩(wěn)定性的絕緣材料，氫氟酸和熱磷酸能對氮化硅進行緩慢地腐蝕。在半導體制造工藝中，一般是采用熱磷酸對氮化硅進行蝕刻，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來蝕刻氮化硅。但隨著半導體制程的飛速發(fā)展，器件的特征尺寸越來越小，集成度越來越高，對制造工藝中的各工藝節(jié)點要求也越來越高，如蝕刻工藝中對蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求。在使用熱磷酸對氮化硅進行蝕刻時，晶圓表面會出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象，體現(xiàn)于在蝕刻前后進行相同位置取點的厚度測量時，檢測點之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問題，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻。技術實現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，所述蝕刻液的組成包括：占蝕刻液總重量≥88％的磷酸、％的醇醚類、％的表面活性劑。進一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液。河南BOE蝕刻液廠家現(xiàn)貨BOE蝕刻液的發(fā)展趨勢如何。

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    其擴散管深入到所述再生液調配缸中；液體泵，其一端通過管道連接所述再生液調配缸的循環(huán)出液口，另一端通過管道連接所述射流器的進液口，用于將所述再生液調配缸中的電解后液通過所述管道抽取至所述射流器的進液口。進一步地，所述酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還包括：曝氣裝置，用于向所述再生液調配缸中的電解后液輸送氣體以進行攪拌。進一步地，所述酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還包括：后續(xù)處理系統(tǒng)，用于向經(jīng)過所述再生液調配缸處理過的電解后液中加入氯化鈉、鹽酸并攪拌均勻。更進一步地，所述電解槽的陽極為石墨電極，陰極為鈦或鈦合金板狀電極。更進一步地，所述電解槽中陰極與陽極之間的距離為55mm。更進一步地，所述電解槽的電流密度為300a/m2。本實用新型所提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)通過簡單的結構實現(xiàn)了電解后廢液的再生利用，可節(jié)約能耗和藥品，提高經(jīng)濟效益。附圖說明圖1是本實用新型實施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結構圖；圖2是本實用新型第二實施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結構圖。具體實施方式為了使本實用新型的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解。博洋 BOE 蝕刻液以其獨特優(yōu)勢，為行業(yè)提供個性化解決方案！

    所述九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟異丁基烷基醚組成。5.權利要求14中任一項的組合物，特征在于，所述組合物是共沸的或共沸型的。6.權利要求5的組合物，特征在于，所述組合物包含515重量％的甲基四氫呋喃和8595重量％的九氟丁基甲基醚。7.共沸組合物，其包含8重量％的甲基四氫呋喃和92重量％的九氟丁基甲基醚，并且在大氣壓()下具有°C的沸點。8.權利要求5的組合物，特征在于，所述組合物包含1040重量％的甲基四氫呋喃和6090重量％的九氟丁基乙基醚。9.共沸組合物，其包含％的甲基四氫呋喃和％的九氟丁基乙基醚，并且在大氣壓()下具有°C的沸點。10.制冷劑，特征在于，其包含前述權利要求中任一項的組合物。11.溶劑，特征在于，其包含權利要求19中任一項的組合物。全文摘要本發(fā)明涉及含有全氟丁基醚的共沸或共沸型混合物或組合物。更具體地說，本發(fā)明涉及含有至少一種九氟丁基烷基醚和可生物降解化合物的組合物，該組合物可用作溶劑或制冷劑。蘇州博洋化學股份有限公司歡迎新老朋友咨詢。江西哪些新型BOE蝕刻液電話

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